说什么。
两个人很快来到这台机器跟前,罗佳淡淡的说,“这就是我们的初代机,它共分为十三大结构,分别是激光发生器,光束矫正器,能量控制器,光束形状调整器,遮光器,能量探测器,掩膜版,掩膜台,物镜,测量台,曝光台,封闭框架,磁悬浮减震。”
罗佳指着机器,介绍这台复杂的组成。
虽然听名字似乎很简单,但就算用脚后跟想也能明白,作为半导体行业的王冠,又怎么可能简单呢。
就拿这台光刻机的物镜来说,如果你以为那是一个类似单反镜头东西,那就完全错了。
asml公司euv型光刻机采用的物镜,高达一米八四,宽度接近七十公分,是德国光学巨头卡尔.蔡司集团,与激光巨头亚琛集团联合制造的。
物镜多少钱?
抱歉,无论罗佳掏多少钱,都买不到这套物镜。
从成本的角度估算,这套物镜的成本应该在一千万美元左右,其复杂程度和精确程度,足以被写入光学发展史。
罗佳给温成岭看的,就是这么个东西,它巨大而精密,充满科幻电影般的未来感。
而且asml的euv是第三代,罗佳这个是第四代,超紫外光,技术复杂程度还要更高。
“你们竟然已经做到了这种程度!?”温成岭激动的瞪大眼睛,发出不可思议的声音。
刚才距离远,又隔着玻璃,所以没太看清楚,还以为是个样子货。
如今走进无尘实验室里,温成岭才恍然发觉,这台四代光刻机的完成度,已经如此之高!